半導体製造に使われる超高純度ガスを入れる容器であるウルトラコンテナ。半導体製造では、コンマ1ミクロン単位のパーティクルも許されないことから、容器自体にも超高度なクリーン状態が求められます。当社では、アセチレン容器のトップブランドとして培ったノウハウをもとに、ウルトラコンテナのメンテナンス分野に進出。表面粗さが最大で1ミクロン以内の鏡面仕上げを実現した研磨技術やppbオーダーに応える卓越した洗浄技術、そして再検査におけるアメリカ運輸省DOT容器再検査認証など、文字通り世界をリードする技術力で容器の大容量化やニーズの高度化に的確に応えています。
半導体製造では、超高純度ガスの使用量が飛躍的に増えていることから、ガスを入れる容器もますます大容量化しています。今日では、360Lを超える大型容器や800L超の大型溶接容器、さらには長さが6mを超える長尺容器も登場しています。当社では、これまで培ってきたノウハウをもとに、それぞれの容器を効率よく最適に磨き上げる独自の研磨技術を確立しています。
ウルトラクリン容器（断面写真）
バレル研磨
水分やパーティクルが付着しないよう内面をピカピカに磨き上げられたウルトラコンテナは、容器内からパーティクルや水分を完全に除去する必要があります。当社では、この清浄表面技術においても、500Lを超える容器を洗浄する特殊ノズルや大量の純水を常に100℃以上にして洗浄する高温高圧洗浄、パーティクルフリー窒素洗浄など業界をリードする独自の洗浄技術で、あらゆる容器に対応しています。
ウルトラクリン工程
超純水洗浄
ウルトラコンテナ工場
ウルトラコンテナを繰り返し使用するためには、容器が要求される品質をきちんと満たしているかどうかを定期的に検査する必要があります。この再検査においても、当社は業界をリードしています。シームレス容器で、世界から認められているアメリカ運輸省のDOT容器再検査認証工場になっているほか、米国Digital Wave社との技術提携により超音波再検査においてもDOT認定を受けています。
容器整備
内面ショットブラスト
加熱真空引
産業排水処理施設
製造の各工程で生じる産業排水や廃棄物に対しても万全の体制を整え、環境保全に貢献しています。
